Yüksek saflıkta tungsten hedef materyal (çip imalatı)

Tungsten püskürtme hedefinin uygulanması

Yüksek saflıktungsten hedefiyarı iletken cihazlarda tungsten oksit filminin geçişi için önemli bir substrattır. Tungsten'in yüksek erime noktası nedeniyle, tungsten hedefleri çoğunlukla toz metalurji ile hazırlanır. Hazırlık yöntemi,% 99,999 veya daha fazla saflığın saflığını, 3.2 4.2μm tungsten tozunun, üniforma ısıl işlem fırını için öngörme için ve daha sonra hidrojene yerleştirin, daha sonra hidrojene yerleştirin; Sinterleme adımı tamamlamak için vakumla sıcak presleme yoluyla gazlı tungsten tozu; İkinci sinterleme işlemi, ilk sinterlendikten sonra sıcak izostatik presle tamamlanır. İkinci sinterlenmiş tungsten plakasının tüm yüzeyini işleme yoluyla taşlandırarak, yüksek saflıkta tungsten hedef materyali% 99.999 ve yarı iletken için% 99 ve üzeri yoğunluğa sahip, yüksek saflık, yüksek yoğunluklu ve düşük dirençli avantajlar elde edilmiştir.

Yarı iletken yarı iletken entegre devresindeki tungsten hedefinin saflığı yüksek bir gereksinimi vardır, genellikle hedef saflık% 99.999'un üzerinde olmalıdır. Aynı zamanda, hedefin yoğunluğu ayrıca kaplama işlemi ve filmin performansı üzerinde önemli bir etkiye sahiptir, hedefin yoğunluğu sadece biriktirme hızını, püskürtme film parçacıklarının yoğunluğunu ve deşarj fenomenini etkiler, Ancak, püskürtme filminin elektrik ve optik özelliklerini de etkiler. Hedef yoğunlaştırıcı, püskürtme film partiküllerinin yoğunluğunu ne kadar düşük olursa, deşarj fenomenini zayıflatır ve filmin performansı daha iyidir.

Amerika Birleşik Devletleri ve Japonya'da sadece birkaç şirket, çip imalatında kullanılan tungsten hedefleri için üretim teknolojisine hakimdir. Neyse ki, \"Çin'de yapılan 2025 \" politikasının desteğiyle, daha fazla ve daha yetenekli insan, kendi işletmelerine başlamak, onlarla ileri teknolojik deneyim sunmak ve araştırma ve geliştirme için daha iyi bir atmosfer yaratan Çin'e geri döndü. Bu, yalnızca ithalata güvenmek zorunda olan metal hedef materyalin tarihinden değil, aynı zamanda bu alandaki dünyanın ilk kadrosuna da girmiştir.