Yüksek teknolojiyle çip endüstrisinde, püskürtme hedefi VLSI imalatı için gerekli bir hammaddedir. İyon, iyon kaynağını yüksek vakumda toplanır ve yüksek hızda toplanır ve yüksek hızın oluşumu iyon kirişi, katı yüzeyin bombardımanı, iyonlar ve katı yüzey atomik momentum değişimi olabilir.
daha fazlası »